[发明专利]一种多孔TiO2有效

专利信息
申请号: 202110456507.8 申请日: 2021-04-23
公开(公告)号: CN113174577B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: 童欣;王宏;李静;赵会芳;田宇龙 申请(专利权)人: 浙江科技学院
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/08;C23C14/20;C23C14/58;C25D11/26
代理公司: 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 代理人: 丁海华;万珠明
地址: 310012 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种多孔TiO2纳米纤维素网络复合膜的原位生长制备方法,包括以下步骤:S1:将TiO2置于450‑550℃的环境下保温2‑4h,保温结束后自然冷却;S2:将纳米纤维素悬浮液真空抽滤,干燥得到纳米纤维素膜,并将其置于磁控溅射装置中,以步骤S1中的TiO2为靶材进行磁控溅射;S3:步骤S2结束后,将磁控溅射装置中的靶材更换为金属钛,再次进行磁控溅射,磁控溅射后得到复合膜半成品;S4、将复合膜半成品作为阳极进行阳极氧化,氧化处理后将制得的样品用去离子水清洗,自然干燥得到成品。本发明可以将TiO2材料与纳米纤维素一体化,提高了成品的半导体材料性能。
搜索关键词: 一种 多孔 tio base sub
【主权项】:
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