[发明专利]具有可移动针体的电阻率探针在审
| 申请号： | 202110457220.7 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113189378A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 崔健力;沃尔特·H·约翰逊;刘相华;施斌;石建鸥;游海洋;俞露;张帆;张卓贤;朱南昌 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及具有可移动针体的电阻率探针。电阻率探针可以用于测试集成电路。在一个实例中，电阻率探针具有带多个通孔的衬底和多个金属引脚。所述金属引脚中的每一者安置于所述通孔中的一者中。所述金属引脚延伸出所述衬底。互连件提供到所述金属引脚的电连接。在另一实例中，一种电阻率探针具有带顶表面的衬底和从所述衬底延伸的多个元件。所述元件中的每一者从所述衬底开始弯曲到所述元件的尖端，使得所述元件中的每一者均不与所述衬底的所述顶表面平行。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 电阻率 探针 | ||
【主权项】：
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