[发明专利]一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法在审
| 申请号： | 202110457598.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113151788A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法，其中，遮挡板包括：一圆形遮挡板本体，在所述遮挡板本体上包括至少一个开口区域，所述开口区域允许蒸发分子穿过遮挡板本体；当所述开口区域为多个时，所述开口区域均匀分布在所述遮挡板本体上。有益效果是：通过具有特定开口的可旋转圆形遮板，在蒸镀过程中有效阻挡了大部分蒸发材料，只让少量的蒸发材料通过所述遮板上的开口区域到达基板。在工艺中可大幅提高掺杂材料的蒸发速率，同时将所述掺杂材料的掺杂率维持在极小的目标值，实现了掺杂材料以极小速率沉积的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 遮挡 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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