[发明专利]一种一体式的窄边框光电探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110459048.9 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113299537B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 陈萍;赛小锋;田进寿;刘虎林;李少辉;王俊锋;缑永胜;徐向晏;高贵龙;李知兵;张敏睿;王兴;何凯;刘百玉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24;H01J43/28;H01J9/02;H01J9/18;H01J9/26;H01J9/32;G01J1/44 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 史晓丽 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一体式的窄边框光电探测器及其制作方法，可用于微光探测、粒子探测与核辐射探测等领域，解决了现有技术中真空光电探测器件圆形结构难以提高有效探测面积比，且微通道板电子倍增器组件采用焊接，因绝缘垫片过薄，导致绝缘性变差的技术问题。该一体式的窄边框光电探测器包括阴极窗、光电阴极、微通道板电子倍增器、绝缘管壳、电荷收集阳极、电极引线以及铟封槽。同时，本发明还提出了一体式的窄边框光电探测器的制作方法，具有探测效率高、有效探测面积比大、结构紧凑、易加工制作等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 边框 光电 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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