[发明专利]一种PH传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110459322.2 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113176319A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王凤霞;黄婷;杨湛;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32421 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PH传感器及其制备方法，其中，所述PH传感器包括：衬底、敏感层、封装层及金属氧化物场效应管。衬底包括位于其中部的衬底中间区，及设置于衬底中间区两侧的衬底侧区；敏感区设置在衬底中间区的上表面上，敏感层包括敏感层中间区及位于敏感层中间区两侧的敏感层侧区；封装层，覆盖于衬底侧区的上表面和侧面，且覆盖于敏感层侧区的上表面和侧面；金属氧化物场效应管包括栅极，栅极的一侧与敏感层的一侧通过金属导线连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ph 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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