[发明专利]浸没套装和采用浸没套装对浸没物镜进行改进的方法有效
申请号: | 202110459325.6 | 申请日: | 2021-04-27 |
公开(公告)号: | CN113189762B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 约翰内斯·克诺布利希;英戈·法尔布施;马库斯·施蒂克;拉尔夫·沃列申斯基;托马斯·奥尔特 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/33 | 分类号: | G02B21/33 |
代理公司: | 上海雍灏知识产权代理事务所(普通合伙) 31368 | 代理人: | 沈汶波 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于改进浸没物镜(1)的浸没套装包括至少一个浸没液箱(20、20')、至少一个液连接到浸没液箱(20、20')的泵(60)和至少被配置为控制泵(60)的控制电子单元(25)。紧固设备(30)被配置为实现至少一个浸没液箱(20、20')、至少一个泵(60)和控制电子单元(25)在浸没物镜、或浸没物镜(1)的安装适配器(80)上的承载紧固。 | ||
搜索关键词: | 浸没 套装 采用 物镜 进行 改进 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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