[发明专利]一种含氟清洗液组合物及其应用有效
| 申请号： | 202110459918.2 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113186043B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;史筱超;于仙仙;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/04 | 分类号： | C11D7/04;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/08;C11D7/60 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％还原型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、1‑5％氟化物、1‑5％有机碱、0.01‑2％螯合剂、0.01‑2％缓蚀剂、0.5‑3％羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L81、0.01‑2％9‑蒽甲醛‑1,1‑二苯基腙和水，水补足余量。本发明的含氟清洗液组合物可选择性地除去微电子器件上的硬遮罩，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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