[发明专利]一种含氟清洗液组合物有效
| 申请号： | 202110459926.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113150885B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;史筱超;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/722 | 分类号： | C11D1/722;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/39;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟清洗液组合物。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10％‑30％的氧化剂、0.001‑0.01％的还原型谷胱甘肽、0.001％‑0.25％的半胱氨酸、1％‑5％的氟化物、1％‑5％的有机碱、0.01％‑2％的螯合剂、0.01％‑2％的缓蚀剂、0.5％‑3％的羧酸铵、0.01％‑1％的EO‑PO聚合物L31、0.01％‑2％的钝化剂和水，水补足余量；各组分质量分数之和为100％。本发明的含氟清洗液组合物可选择性地除去微电子器件上的硬遮罩，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 组合 | ||
【主权项】：
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