[发明专利]基于氮化硅光子晶体的光分路器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110459989.2 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113359233A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 佘小娟;廖涵;赵瑛璇;仇超;甘甫烷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/124;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 贺妮妮 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于氮化硅光子晶体的光分路器及其制备方法，该光分路器包括：自下而上依次设置的硅层、氧化硅层及氮化硅波导层；氮化硅波导层的中间部分形成有二维氮化硅光子晶体波导，两端分别形成有光栅发射器；二维氮化硅光子晶体波导包括一列沿氮化硅波导层长度方向呈周期性排布的圆形凹槽及中间部分氮化硅波导层；光栅发射器为半圆环形的同心环绕光栅且具有两个半圆环形镂空孔。采用氮化硅材料可应用的带宽大，且两个半圆环形镂空孔设计的氮化硅光栅光学损耗小，光出射效率高；另外，光分束器可实现对片外光波的收集同时对光波传输、分光形成片外出射光；最后，制备方法与CMOS工艺良好兼容，工艺简单，易于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氮化 光子 晶体 分路 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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