[发明专利]MEMS声波器件、体声波谐振器的制作方法、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202110460746.0 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115250109A | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/09;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS声波器件，包括压电层，所述压电层为铌酸锂单晶压电层，且所述压电层为(yxl)158°‑171°的旋转Y切的切型。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声波 器件 谐振器 制作方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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