[发明专利]芯片标记方法、系统、电子设备及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202110461453.4 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113096113A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 索鑫 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种芯片标记方法、系统、电子设备及计算机可读存储介质中，提供一晶圆；逐行/列扫描所述晶圆上的芯片，每扫描得到一个合格芯片，均以所述合格芯片为中心芯片选取一第一芯片区域，所述第一芯片区域是以对应的所述中心芯片为中心的N行N列矩阵；获取所述第一芯片区域的芯片良率并判断所述第一芯片区域的芯片良率与第一良率设定值的大小关系，将所述第一芯片区域等比例缩小以构成第二芯片区域；所述第二芯片区域内的芯片良率并判断所述第二芯片区域的芯片良率与第二良率设定值的大小关系，对所述中心芯片进行标记；本发明实现了标记临近聚集型缺陷芯片的合格芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 标记 方法 系统 电子设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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