[发明专利]微机电器件、其制造方法及电子设备在审
| 申请号： | 202110461931.1 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113264500A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 这里公开了一种微机电器件、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上形成微机电单元，其中，所述器件衬底是激光透明的；在微机电单元上执行至少一部分后续晶元处理；从器件衬底侧照射激光，以通过选择性激光剥离，从器件衬底释放经至少一部分后续晶元处理的微机电单元，以形成微机电器件。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 器件 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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