[发明专利]一种光子晶体微腔-石墨烯电光调制器

摘要

本发明涉及一种光子晶体微腔‑石墨烯电光调制器及其制备方法，其特征包括硅基光子晶体微腔、石墨烯层以及中间绝缘层构成的平行板电容器。通过在该电光调制器第一和第二电极层上施加不同电压信号，可以对石墨烯层载流子浓度进行调节，从而调节石墨烯层费米能级，实现石墨烯层上电介质常数的实部和虚部的电调制；进一步，借助电调制的石墨烯层与硅基光子晶体微腔的共振模场相耦合，可实现硅基光子晶体微腔共振信号的高性能电调制。有益效果包括：结构紧凑，具备高调制深度、超快频率响应、低能耗等显著特征，制备过程所需工艺简单，可集成于光子芯片上提高器件单片集成度，与现有CMOS工艺完全兼容。