[发明专利]飞秒激光直写与DMD无掩模光刻复合加工方法在审
| 申请号： | 202110463256.6 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113126453A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘华;谭明月 | 申请（专利权）人： | 东北师范大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;G03F9/00 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130024 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 飞秒激光直写与DMD无掩模光刻复合加工方法，属于3D微纳加工技术领域，包括复合加工系统搭建，加工前标记制作，映射关系建立，待加工工件的数据拆分，以及精密加工过程中的横向对准和纵向对准。本发明将飞秒激光直写技术所具有的高分辨率和卓越的设计灵活性特性与DMD无掩模光刻技术所具有的快速连续制造特性完美结合，取长补短，获得了高效高精度的加工效果。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 dmd 无掩模 光刻 复合 加工 方法 | ||
【主权项】：
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