[发明专利]一种探测器级高纯锗单晶籽晶及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110463466.5 申请日: 2021-04-23
公开(公告)号: CN113172777B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 郝昕;甘林;胡世鹏;孙慧斌;赵海歌;罗奇;钟健;吴正新 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/04;B24B7/17;B24B7/22;C30B33/00
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 李莹
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种探测器级高纯锗单晶籽晶及其制备方法和应用,涉及半导体核辐射探测材料技术领域。制备方法包括:将轴向为100晶向的圆柱形的锗单晶底面固定在砧板上;沿轴向切一刀切到锗单晶的底部;重复两次沿径向移动3mm后,沿轴向切一刀到距底部3mm处;沿径向移动3mm后,沿轴向切一刀切到锗单晶的底部,得到中间件;将中间件平放并固定到砧板上,将中间件一侧面的单晶片切断并取下;每间隔3mm沿着垂直于中间件底边的方向切割到中间件的底部,得到多个半成品;将半成品侧面的单晶片切断并取下;打磨半成品的两切割面;将半成品的尖端加工为圆柱形,头部加工为半球形,以得到籽晶。本发明制得的籽晶同轴性好、生产效率高及成品率高。
搜索关键词: 一种 探测器 高纯 锗单晶 籽晶 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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