[发明专利]一种探测器级高纯锗单晶籽晶及其制备方法和应用有效
申请号: | 202110463466.5 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113172777B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 郝昕;甘林;胡世鹏;孙慧斌;赵海歌;罗奇;钟健;吴正新 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B24B7/17;B24B7/22;C30B33/00 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 李莹 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种探测器级高纯锗单晶籽晶及其制备方法和应用,涉及半导体核辐射探测材料技术领域。制备方法包括:将轴向为100晶向的圆柱形的锗单晶底面固定在砧板上;沿轴向切一刀切到锗单晶的底部;重复两次沿径向移动3mm后,沿轴向切一刀到距底部3mm处;沿径向移动3mm后,沿轴向切一刀切到锗单晶的底部,得到中间件;将中间件平放并固定到砧板上,将中间件一侧面的单晶片切断并取下;每间隔3mm沿着垂直于中间件底边的方向切割到中间件的底部,得到多个半成品;将半成品侧面的单晶片切断并取下;打磨半成品的两切割面;将半成品的尖端加工为圆柱形,头部加工为半球形,以得到籽晶。本发明制得的籽晶同轴性好、生产效率高及成品率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 探测器 高纯 锗单晶 籽晶 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学,未经深圳大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110463466.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。