[发明专利]一种纳米多孔铜液态金属复合热界面材料及其制备方法有效
申请号: | 202110465028.2 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN113201660B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 左小伟 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
主分类号: | C22C1/08 | 分类号: | C22C1/08;C23F1/44;C23F1/16;C22C30/02;C22C30/04;C22C30/06;C22C16/00;B22D11/06;B22D23/04;C22F1/02;C22F1/08;B21B3/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人: | 宁佳 |
地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明的一种纳米多孔铜液态金属复合热界面材料及其制备方法,属于微电子封装材料及其制备技术领域。复合热界面材料由纳米结构多孔铜和液态金属制成,液态金属热界面材料的合金质量分数为In:20~40%,Sn:9~12%,Zn:8~12%,Cu:0.5~3%,Ag:0.1~2%,Bi:20~25%,剩余为Ga。制备时,熔炼特定成分的基底铜铸锭并熔化成薄带后,酸侵蚀获得纳米结构多孔铜基底材料,配制相应成分的液态金属合金,多孔铜基底材料上渗铸,获得复合材料,100~150℃下热处理5~10h,冷轧制得纳米多孔铜液态金属复合热界面材料。该复合材料热界面材料不仅散热性能好,热导率为150~250W/mK,硬度达到145~185HV,而且安全无侧漏,具有良好的综合性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 多孔 液态 金属 复合 界面 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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