[发明专利]一种基于冲量差颗粒脱附的微纳结构与器件的直写方法有效
| 申请号： | 202110466336.7 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113184801B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杨光红;贾彩虹;黄晓伟;刘新胜;杨锋;贾瑜 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/329;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 475004*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于冲量差颗粒脱附的微纳结构与器件直写方法，包括：在衬底上固定材料源；将所述衬底和材料源放入电子束设备；对所述电子束设备进行抽真空处理；控制电子束斜入射到所述材料源表面；控制所述电子束以光栅式振荡扫描场做空间扫描，并按照预定的结构形状逐步移动，直至得到完整的微纳结构。本发明能够提高微纳结构构筑效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 冲量 颗粒 结构 器件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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