[发明专利]一种复合衬底的热膨胀系数测试方法在审
| 申请号： | 202110467371.0 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113176291A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;李忠旭;黄凯 | 申请（专利权）人： | 上海新硅聚合半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合衬底的热膨胀系数测试方法，所述方法包括以下步骤：在复合衬底处于第一温度时，获取复合衬底的第一曲率；加热复合衬底，使得复合衬底以预设升温速度升温，直至复合衬底的温度达到第二温度，获取复合衬底的第二曲率；冷却复合衬底，使得复合衬底以预设降温速度降温，直至复合衬底的温度达到第一温度；在第一温度至第二温度之间选取至少一个目标温度，获取复合衬底的目标曲率；根据复合衬底的第一曲率、至少一个目标曲率和第二曲率，计算得到复合衬底的曲率变化率；根据衬底和薄膜的特性参数和曲率变化率，获得复合衬底的热应力；根据衬底和薄膜的特性参数和复合衬底的热应力，计算得到复合衬底的热膨胀系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 衬底 热膨胀 系数 测试 方法 | ||
【主权项】：
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