[发明专利]用于半导体废气处理设备的安全监测系统有效
| 申请号： | 202110468567.1 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113154264B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王松;薛山;杨春水;张坤;黄一桐;张浩 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;F17D5/00;G01K7/22;G01D5/34;G01L13/00;G08B21/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李文丽 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。本发明实现检测带对腔体的焊接部位的腐蚀渗漏的定点实时监测，光电传感器对管道的易堵塞位置的定点实时监测，信息处理显示子系统采集、处理并显示监测信息，提高对腐蚀点和堵塞位置的精准监测判定，保证监测信息的实时性和准确性，提高维护效率和设备运行的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 废气 处理 设备 安全 监测 系统 | ||
【主权项】：
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