[发明专利]液体回吸系统及回吸方法有效
| 申请号： | 202110471411.9 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113187741B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郭宇杰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F04D15/00 | 分类号： | F04D15/00;F04D29/40;G01V8/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种液体回吸系统及回吸方法，属于液体回吸技术领域。该液体回吸系统包括回吸管路和回吸泵。回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口连接回吸泵，第二端口连接供液管路；其中，回吸管路具有回吸阀和洄水湾，供液管路用于供给液体化学品，回吸泵用于在供液管路停止供液时，回吸供液管路中残存的液体化学品。该液体回吸系统能够将使得未被回吸的液体，在洄水湾中发生滞留，从而不易回流至喷嘴造成偷滴。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 系统 方法 | ||
【主权项】：
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