[发明专利]微小物检测装置在审
| 申请号： | 202110474857.7 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN113188964A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 中井贤也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N15/06;G01N15/14;G01N21/03;G01N21/05;G01N21/21;G01N21/49;G01N21/53 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供微小物检测装置，具有第1、第2光学系统，第1光学系统包含第1、第2反射区域、第1、第2穿过区域和第1受光元件，第1光学系统利用第1、第2反射区域对照射光照到粒子而散射的散射光进行反射，由此将散射光引导至第1受光元件，第2光学系统穿过第2穿过区域从粒子直接取入照到粒子而散射的散射光的一部分，根据散射光检测粒子的光学特性，通过在第2反射区域设置第1穿过区域，将散射光引导至第1受光元件，通过在第1反射区域设置第2穿过区域，将散射光引导至第2光学系统，第2穿过区域位于与第1穿过区域对置的位置，并且位于第1反射区域内被由第2反射区域中的第1穿过区域的周缘反射的散射光到达的点包围的区域的内侧。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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