[发明专利]一种碲硫镉靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202110476335.0 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113233897A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 余芳;文崇斌 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;朱燕华 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种碲硫镉靶材的制备方法，包括：(1)将碲化镉粉末和硫化镉粉末混合均匀，得到混合粉末；(2)将混合粉末在500～700℃下烧结1～2h，得到初烧结粉末；(3)将初烧结粉末进行球磨混合，得到球磨粉末；(4)将球磨粉末转入模具中，然后在真空环境下进行热压烧结，其中，先加热至400～500℃保温30～50min，再加热至700～900℃保温60～100min，压力为30～50MPa，烧结完成后，随炉冷却，得到靶材毛坯；(5)对靶材毛坯进行机加工，制成目标尺寸的碲硫镉靶材成品。本发明的制备方法具有节能、耗材少、操作简单、以及可批量生产等优点，所制备的碲硫镉靶材具有较高的密度，相对密度95％，溅射性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碲硫镉靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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