[发明专利]一种基于体振动的翻转倾斜检测结构有效

专利信息
申请号: 202110476481.3 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113324519B 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 申请(专利权)人: 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司
主分类号: G01C9/00 分类号: G01C9/00;G01C9/02
代理公司: 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 代理人: 刘伟
地址: 430200 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构,包括固定基底;锚点结构,锚点结构叠设于固定基底并与固定基底连接;振动结构,振动结构呈环状,振动结构与锚点结构形成机械耦合,并与固定基底间隔;面内换能器,沿该检测结构的中心圆周分布在最外侧,每个面内换能器均与固定基底连接,且相邻两个面内换能器之间间隔设置;面外换能器,沿该检测结构的中心圆周分布于振动结构与固定基底之间,每个面外换能器均与固定基底连接,且与振动结构间隔设置,相邻两个面外换能器之间间隔设置;该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态,两个体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
搜索关键词: 一种 基于 振动 翻转 倾斜 检测 结构
【主权项】:
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