[发明专利]进气装置及反应腔室

摘要

本发明公开一种进气装置及反应腔室，反应腔室包括腔室本体和喷淋头，喷淋头设置于腔室本体的顶部，进气装置用于和喷淋头连通，进气装置包括第一管道和进气组件；第一管道用于与喷淋头相连通，第一管道的侧壁开设有第一通孔，第一管道的进气端用于通入第一反应气体或清洗气体；进气组件包括组件本体，组件本体套设于第一管道的外侧，组件本体内具有环绕第一管道的至少两个通道，组件本体的外侧设有第二通孔，第二通孔与其相邻近的通道相连通，组件本体内设有第三通孔，第三通孔用于连通相邻的两个通道，组件本体内侧设有第四通孔，第四通孔通过第一通孔与第一管道相连通。上述方案能够解决反应腔室的清洗效果较差的问题。