[发明专利]带支撑部的纳米线/片器件及其制造方法及电子设备在审
| 申请号： | 202110477577.1 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113257919A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 朱慧珑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了一种带支撑部的纳米线/片器件及其制造方法及包括该纳米线/片器件的电子设备。根据实施例，该纳米线/片器件可以包括：衬底；衬底上在第一方向上彼此相对的第一源/漏层与第二源/漏层；与衬底的表面间隔开且从第一源/漏层延伸到第二源/漏层的第一纳米线/片；在竖直方向上贯穿第一纳米线/片的一个或多个支撑部；以及沿与第一方向相交的第二方向延伸以围绕第一纳米线/片的栅堆叠。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 纳米 器件 及其 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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