[发明专利]微机械的传感器组件、使用微机械的传感器组件的方法在审
| 申请号： | 202110478505.9 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113607974A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种微机械的传感器组件、尤其是加速度传感器，其具有带有主延伸平面的基底，其中，所述传感器组件包括第一质量和第二质量，其中，所述第一和第二质量分别至少部分可运动地沿垂直方向、即垂直于所述基底的主延伸平面构造，其中，所述第一质量具有止挡结构，其特征在于，所述止挡结构沿所述垂直方向具有与所述第二质量的重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 组件 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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