[发明专利]一种210大尺寸硅片的清洗方法在审

专利信息
申请号: 202110480063.1 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113223934A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 车晓东 申请(专利权)人: 苏州协鑫光伏科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/66;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/12
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 215253 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种210大尺寸硅片的清洗方法,包括以下步骤:步骤1:制定超声检测标准并标准化,并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格;步骤2:按溢流漂洗‑药洗‑药洗‑漂洗‑药洗‑溢流漂洗的方式制定清洗工艺,确保电导率正常,提升清洗效果,减少脏污;步骤3:选择双组份清洗药剂处理大尺寸硅片,试验数据说明其一次污片率低于单组份清洗剂,在大尺寸硅片上选用双组份清洗剂,药剂添加量根据小尺寸清洗机槽体尺寸来测算具体添加量,药剂采用A+B的方式添加,补加量和药剂添加量根据槽体尺寸以及过程取样测试PH值和游离碱度来计算添加。
搜索关键词: 一种 210 尺寸 硅片 清洗 方法
【主权项】:
暂无信息
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