[发明专利]基于PSD传感器的运动机构平面三自由度测量装置与方法在审
| 申请号： | 202110481121.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113188441A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 莫嘉嗣;闫国琦;金莫辉;刘洪山;梁展鹏 | 申请（专利权）人： | 华南农业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 林梅繁 |
| 地址： | 510642 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为基于PSD传感器的运动机构平面三自由度测量装置与方法；该装置包括激光器、多个PSD传感器、多个信号处理板、多通道AD信号采集卡，激光器与PSD传感器相对运动；当激光照射在PSD传感器感光部分时，通过PSD传感器的电压信号计算出激光器相对于PSD传感器的平面X、Y轴平移运动和绕Z轴的转动运动。搭载本装置的运动机构可实现非接触的平面三自由度测量；本发明解决了常规传感器难以一次性测量平面三自由度的问题，相对于传统机器视觉测量而言，具有更高的精度和采样频率，能满足平面运动机构的末端实时测量反馈需要。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 psd 传感器 运动 机构 平面 自由度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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