[发明专利]一种具有静电消除功能的电子束加工装置在审
| 申请号： | 202110482771.9 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113163564A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王岩;王鹏飞;孙博彤;殷伯华;刘俊标;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 安志娇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有静电消除功能的电子束加工装置，属于电子束加工设备技术领域。包括壳体，内部形成加工待加工品的加工空间；加工用电子枪，与加工空间相连通，加工用电子枪用于向待加工品发射第一电子束；静电消除装置，与加工空间相连通，静电消除装置用于向待加工品发射第二电子束；第二电子束使待加工品产生的电荷与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消。本发明当加工用电子枪发射第一电子束对待加工品进行加工后，第一电子束会导致待加工品表面出现静电积累，使用静电消除装置向待加工品发射第二电子束，第二电子束使待加工品产生的电荷能够与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消，从而消除待加工品的静电，进而保证加工的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 静电 消除 功能 电子束 加工 装置 | ||
【主权项】：
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