[发明专利]有机-无机杂化的无铅氯化物钙钛矿薄膜可见光盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电探测器器件制造技术领域，具体涉及一种有机‑无机杂化的无铅氯化物钙钛矿薄膜可见光盲紫外探测器及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：在表面有绝缘层的衬底上制备MASnCl3薄膜后蒸镀叉指电极，或在表面有绝缘层的衬底上蒸镀叉指电极后制备MASnCl3薄膜。本发明提供了一种金叉指电极的共平面MSM结构的MASnCl3薄膜可见光盲紫外探测器，其制备方法可生长得到致密的且结晶度良好的MASnCl3薄膜，制备的紫外探测器响应度高，为制备高灵敏度的钙钛矿可见光盲紫外探测器提供新的思路。