[发明专利]一种PDMS—PS聚合物电介质的电容式柔性压力传感器及其制作工艺

摘要

本发明提出了一种PDMS—PS聚合物电介质的电容式柔性压力传感器，包括电极，所述电极包括PDMS基底薄膜，所述PDMS基底薄膜之间设置有电介层薄膜，所述电介层薄膜包括PDMS—PS聚合物，所述PDMS基底薄膜对应所述电介层薄膜的一侧设置有微结构，另一侧设置导电薄膜，两侧电极通过胶布与导线连接。通过采用上述技术方案，电介层薄膜采用PDMS—PS聚合物，受压易变形，由于材料的弹性其电容也会随着改变，从而进一步引起电流的变化，电阻率变化大，从而提高了传感器的灵敏度，实现了高灵敏度的力传感。