[发明专利]一种绿光外延结构的制备方法在审
| 申请号： | 202110485368.1 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113270525A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 黄剑锋 | 申请（专利权）人： | 广东德力光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 529000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及倒装LED芯片技术领域，公开了一种绿光外延结构的制备方法，自下而上依次生长衬底、低温AlGaN缓冲层、N－AlGaN阻挡层、多周期Si掺杂GaN、超晶格InGaN/GaN、多周期量子阱、阻挡层、Mg掺杂P－GaN和接触层，多周期量子阱采用GaN/In |
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| 搜索关键词： | 一种 外延 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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