[发明专利]一种带有钝化接触结构的IBC太阳电池的制备方法及电池、组件和系统

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体公开一种了带有钝化接触结构的IBC太阳电池的制备方法及电池；其制备方法包括如下步骤：制绒、刻蚀背面、生长隧穿氧化层和多晶硅结构、丝网印刷掺硼硅浆区域和掺磷硅浆区域、热处理、双面沉积钝化减反膜、背面激光局域开膜、背面沉积金属层、丝网印刷金属电极、快速热处理及去除金属层。该带有钝化接触结构的IBC太阳电池的制备方法能有效克服现有钝化接触结构的IBC太阳电池存在的漏电风险大、工艺复杂、流程多、产能低、成本高，难以兼容产业化方面的缺陷。