[发明专利]一种基于石墨烯阵列的柔性压力传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110488448.2 申请日: 2021-05-06
公开(公告)号: CN113237579B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 赵程;周佳成;袁淑雅;任青颖;王德波 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: G01L1/18 分类号: G01L1/18;G01L9/02
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 韩红莉
地址: 210003 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种基于石墨烯阵列的柔性压力传感器及其制备方法,两个柔性衬底平行分布,上层石墨烯阵列、下层石墨烯阵列分别固定设置在一个柔性衬底上且位于两个柔性衬底之间;石墨烯压力传感单元阵列分布,上层石墨烯阵列中的石墨烯压力传感单元和下层石墨烯阵列中的石墨烯压力传感单元对齐紧贴。当有压力作用于石墨烯阵列上时,石墨烯导电通路增多,阻值减小,解调电路可以测算出每个石墨烯压力传感单元的阻值变化,通过压力‑阻值的拟合曲线,精确得到压力的变化情况。聚二甲基硅氧烷材质的柔性衬底材料的耐热性避免了聚对苯二甲酸乙二醇酯PET等衬底材料在激光直写过程容易弯曲变形情况发生。行电极与列电极之间避免了交叉,结构更加优化。
搜索关键词: 一种 基于 石墨 阵列 柔性 压力传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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