[发明专利]一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法在审
| 申请号： | 202110488511.2 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113155836A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G06K9/00;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法，检测装置包括光罩载台、LED背光源、安装板和图像采集机构，光罩载台上安装待检测光罩，LED背光源安装于待检测光罩正下方，安装板安装于光罩载台上方，图像采集机构安装于安装板，本发明结构简单，操作方便，能够有效的采集光罩表面图像，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 视觉 检测 技术 表面 质量 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾斯尔光电（南通）有限公司，未经艾斯尔光电（南通）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110488511.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
