[发明专利]一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构在审
| 申请号： | 202110489366.X | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113211471A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 吴天尧;李舒驰 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于电子半导体技术领域，特别涉及一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。包括外壳、手指、推杆、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆的一端与直线驱动机构连接，另一端穿出外壳且与推块连接；推块与手指定位块协同作用夹持放置于手指上的晶圆；位置检测机构用于检测推块是否到达夹持位置或初始位置。本发明可根据晶圆自身的强度调节夹持机构的夹持力度，同时调节夹持速度使夹持过程不对晶圆造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 机器人 夹持 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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