[发明专利]流体传感器在审

专利信息
申请号: 202110489972.1 申请日: 2021-05-06
公开(公告)号: CN113624800A 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: D·图姆波德 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: G01N25/00 分类号: G01N25/00;G01N21/17;G01H17/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 黄倩
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开的各实施例总体上涉及流体传感器。流体传感器(10)包括:壳体结构(12),形成腔室(14);IR发射器(18),被配置用于在腔室(14)中发射IR辐射(20),其中IR辐射(20)具有中心波长(λ0),以用于提供IR辐射(20)与目标流体(FT)的相互作用,该相互作用导致腔室(14)中或壳体结构(12)中的温度变化(ΔT),该温度变化(ΔT)影响壳体结构(12)中的机械脉冲(22);以及惯性检测传感器(24),被机械地耦合到壳体结构(12),以用于感测壳体结构(12)中的机械脉冲。
搜索关键词: 流体 传感器
【主权项】:
暂无信息
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