[发明专利]超薄玻璃基板平整度多参数高精度测量系统及方法在审
| 申请号： | 202110492331.1 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113324498A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邵伟;周阿维;高瑞鹏;千勃兴;杨秀芳 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 杨洲 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了超薄玻璃基板平整度多参数高精度测量系统及方法，首先疝气白光光源发出的平行光经过TIR棱镜到数字调光器件形成动态条纹，动态条纹经过TIR棱镜、准直透镜、扩束镜、分光镜、扫描振镜、色散物镜组形成动态扫描点阵；然后玻璃基板上表面将不同颜色的光反射回到分光镜、色散棱镜、会聚目镜成像到3CCD彩色视觉传感器，同时玻璃基板上下表面的光点成像到黑白视觉传感器上，最后通过3CCD彩色视觉传感器光强点阵中心的RGB值计算得到玻璃基板上表面的位置变化信息，同时计算黑白视觉传感器上两个成像点的距离得到玻璃基板的厚度，该发明有效利用了光波长稳定性，消除了环境的影响，实现快速同步高精度测量，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 玻璃 平整 参数 高精度 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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