[发明专利]用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板在审
| 申请号： | 202110493998.3 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113377132A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 祝方舟;李铁林;李庆党;杨晓辉;和学泰;刘华江 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;F24S30/40;H02S40/22 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 冷奎亨 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板，包括控制电路、反馈电路、微镜玻璃板、太阳高度角传感器；微镜玻璃板包括由数片微镜构成的MEMS微镜阵列，每片微镜从下至上依次为基底、下电极层、保护层、牺牲层、支持层、金属层、补偿层以及悬空设置的上电极层、玻璃层；金属层包括固定部、旋转部以及铰接件，补偿层、支持层分别设置在金属层的旋转部上、下两侧，旋转部、支持层、补偿层共同构成悬臂；上电极层与下电极层、金属层分别与控制电路的电压输出端正、负极电连接；通过太阳高度角传感器提供的数据调整电压大小，驱动单片微镜进行角度偏转。本发明可以使微镜进行0∼90°的偏转以适应太阳高度角的变化，达到追踪聚光的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 追踪 聚光 mems 阵列 智能 玻璃板 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛科技大学，未经青岛科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110493998.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
