[发明专利]柔性太阳能电池及其制作方法在审
申请号: | 202110494773.X | 申请日: | 2021-05-07 |
公开(公告)号: | CN113206171A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 孙强健;陆书龙;龙军华;张怡;宣静静 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;武岑飞 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 提供了一种柔性太阳能电池的制作方法,其包括:在生长衬底上外延生长电池组件层,电池组件层包括在生长衬底上的背面接触层以及位于背面接触层和生长衬底之间的正面接触层;在背面接触层上形成背电极;在背电极上形成柔性金属衬底;将生长衬底完全去除,以暴露正面接触层;在正极接触层上制作形成正电极;对正电极、太阳能电池、背电极以及柔性金属衬底进行低温热退火处理,以形成柔性太阳能电池。还提供了一种由该制作方法制作形成的柔性太阳能电池。本发明中正电极与正面接触层通过低温热退火技术来形成欧姆接触,可以保证正面接触层不会因为急剧高温下的热应力发生破裂,从而解决了欧姆接触和材料体系差距带来的热失配问题。 | ||
搜索关键词: | 柔性 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的