[发明专利]光学元件及其制造方法在审
申请号: | 202110495143.4 | 申请日: | 2021-05-07 |
公开(公告)号: | CN113215534A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 施宏欣;柯泰年 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/14;G02B1/115;G02B5/30 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种制造光学元件的方法包含:对基材斜向蒸镀,以在基材的表面上形成至少一第一无机氧化物膜对;以及对基材正向蒸镀,以在第一无机氧化物膜上形成至少一第二无机氧化物膜对,其中第一无机氧化物膜对与第二无机氧化物膜对的任一者的材料包含金属元素及硅中之至少一者。本揭露所提供的光学元件及其制造方法可以为具有更佳的光学效果及更薄的膜厚的光学元件达到节省制造成本的效果,并且使其具有更广泛的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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