[发明专利]一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法在审
| 申请号： | 202110498780.7 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113193849A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 姚远 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/02 |
| 代理公司： | 重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙) 50241 | 代理人： | 顾晓玲;陈香兰 |
| 地址： | 214072 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法，声表面波换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层；还包括负载层，负载层采用如下结构之一或组合；结构一：负载层设置于温补层上或温补层中，负载层不与叉指金属层接触，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头；结构二：负载层在晶圆基底内，负载层位于叉指金属层的指条端头位置对应处，负载层为导电材料；结构三：负载层位于叉指金属层和温补层之间，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头，负载层采用非金属材料制成。对指条端头区域进行处理阻断横向模，提高电性能指标和品质Q值；结构一负载层通过温补层与叉指金属层隔离，不与叉指金属层相连短路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多阶横模 抑制 表面波 换能器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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