[发明专利]一种能存算一体化单元、器件、制备工艺及设备

摘要

本发明涉及电子技术领域，特别涉及一种能存算一体化单元、器件、制备工艺和设备。能存算一体化单元包括对电极、电解质和工作电极，电解质设于对电极与工作电极之间，可迁移离子经由电解质在工作电极和对电极之间迁移，基于可迁移离子在工作电极中的含量变化得到对应的状态信息。其中对电极为Li层，电解质为LiPON层，工作电极为、、中的至少一者。本设计能存算一体化单元进行信息处理时无需额外提供电能源，基础电能源结构中存储有电能源，而工作电极中的可迁移Li离子含量变化对应不同的状态信息，并能够基于该状态信息进行信息处理，进而使信息处理（包括计算和存储）和为信息处理供能两者一体化。