[发明专利]一种气驱动微型光栅尺在审
申请号: | 202110499349.4 | 申请日: | 2021-05-08 |
公开(公告)号: | CN113091621A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 陈智 | 申请(专利权)人: | 福州云睿自动化设备有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01D5/26 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 裴金华 |
地址: | 350015 福建省福州市马尾区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种气驱动微型光栅尺,包括外壳,设置在外壳中的安装框架、探头组件、用于控制探头组件伸出与缩回的控制结构、光栅组件;安装框架,固定设置在外壳中,其内部配置有可延外壳轴向方向滑动的滑块;探头组件,和安装框架以及外壳共同形成气体腔室一;探头组件包括探头、和探头相连接的滑动光轴,滑动光轴之面向滑块的端面为气压受力端,滑动光轴通过一穿入到安装框架中的连杆与滑块相连接;控制结构,包括设置在安装框架上的和气体腔室一相连通的通气管、设置在气体腔室一中的用于和滑动光轴相吸的永磁体、线圈,线圈在通电状态下产生能够与永磁体磁场相中和的磁场。本发明,光栅尺的适用检测对象更为宽泛,寿命更好。 | ||
搜索关键词: | 一种 驱动 微型 光栅尺 | ||
【主权项】:
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