[发明专利]晶圆加工装置、晶圆传送组件及其工作方法

摘要

本发明涉及一种晶圆加工装置、晶圆传送组件及其工作方法，晶圆传送组件包括移动机构与吹扫结构。移动机构包括托盘。托盘能带动晶圆移动到工艺腔室中或者移出到工艺腔室的外部。吹扫机构设有吹扫面，吹扫面的吹扫区域能完全覆盖托盘上放置的晶圆。当移动机构的托盘带动晶圆位于工艺腔室的外部时，吹扫机构间隔地设于托盘的正上方，以使吹扫面与托盘上的晶圆面对面设置。保护气体正对晶圆吹扫晶圆的整个外表面的过程中能较好地避免在晶圆的表面上出现氧化或者附着颗粒物等污染现象，也能避免移动机构载着晶圆移动到工艺腔室的内部时同步将水汽带入到工艺腔室中，能保证晶圆的表面洁净度，也能避免晶圆表面被氧化，提高了产品质量。