[发明专利]保持机构在审

专利信息
申请号: 202110503926.2 申请日: 2021-05-10
公开(公告)号: CN113666089A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 柿沼良典;右山芳国;斋藤良信;柳琮铉 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: B65G47/74 分类号: B65G47/74;B65G43/08;H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供保持机构,其使用伯努利垫吸引保持板状物而不使板状物破损。保持机构具有伯努利垫,该伯努利垫借助通过对板状物吹送空气而产生的负压的作用来保持板状物,该保持机构具有:手部,伯努利垫配设于该手部;传感器,其配设于手部,检测板状物被伯努利垫吸引保持的情况;横向移动限制部,其配设于手部,限制板状物的横向移动;管,其将向伯努利垫提供空气的空气源与伯努利垫连结;调整阀,其配设于管,调整向伯努利垫提供的空气的流量;以及控制部,其控制调整阀的动作,控制部使从调整阀向伯努利垫提供的空气的流量逐渐增加,在通过传感器检测到板状物受到负压的作用而被伯努利垫吸引保持时,控制部将空气的流量固定。
搜索关键词: 保持 机构
【主权项】:
暂无信息
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