[发明专利]碳纳米管超宽带光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提出一种碳纳米管超宽带光电探测器及其制备方法，利用碳纳米管薄膜与功函数不同的两种金属复合，分别对碳纳米管实现p掺杂和n掺杂。碳纳米管薄膜可以实现从紫外到太赫兹波段的超宽带光吸收；悬空结构可以减小热耗散；金属的附着可以减缓热传导，提高薄膜温度；掺杂区域的存在又可以有效地将热能转化成光电压。最终可以实现从紫外光到太赫兹波段的高性能、自供电的超宽带快速光电探测。