[发明专利]光学元件镀膜工艺在审
| 申请号： | 202110506998.2 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN113265620A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 马登超;陈吕勇;步雪斌;阎国安 | 申请（专利权）人： | 南通瑞景光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件镀膜工艺，包括以下步骤：S1:将装有光学元件的夹具固定安装至工件盘上；S2:利用工件盘安装组件将工件盘安装至镀膜机的顶部；S3:向镀膜机底部的蒸发组件内添加镀膜液，蒸发组件设置有三个蒸发源，分别为蒸发源A、蒸发源B和蒸发源C；S4:关闭镀膜机，抽真空，然后向镀膜机内注入用于产生离子的气体，并加温加压。本发明的工艺可以提高良品率，提高产品透光率。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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