[发明专利]一种延长LPCVD工艺用石英制品使用寿命的加工方法在审
| 申请号： | 202110509441.4 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113213736A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 步东浩 | 申请（专利权）人： | 沈阳偶得科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B29/00;C03B25/00;C03C17/00;C03C15/00;C03C23/00;C09K13/08 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 马维骏 |
| 地址： | 110117 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于光伏行业用石英部件表面处理的技术领域，具体涉及一种延长LPCVD工艺用石英制品表面使用寿命的加工方法。方法包括火抛光、退火、遮蔽、喷砂、去除遮蔽物、第一次清洗、配制酸性化学溶液、化学蚀刻、第二次清洗等步骤。本发明制备的LPCVD工艺的石英制品其表面丘陵状均匀，提高了硅化合物对石英制品的附着性，同时不会引起沉积在石英制品上的硅化合物的剥离，减少颗粒污染，并且延长石英制品使用寿命，满足光伏行业需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 lpcvd 工艺 石英 制品 使用寿命 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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