[发明专利]一种光刻胶回吸管接头

摘要

本发明公开了一种光刻胶回吸管接头，属于半导体制造技术领域，包括前后贯穿的接头本体、设置在所述接头本体内的排胶组件，所述接头本体的一端形成用于连接光刻胶喷管的连接端；所述排胶组件包括设置在所述接头本体内的过胶塞块、开设在所述过胶塞块上的过胶通孔、沿过胶通孔的轴向进行排胶的排胶活塞以及驱动所述排胶活塞运动的驱动装置，所述过滤塞块位于远离所述接头本体一端，所述过胶通孔连通所述接头本体的前后端口。本发明装置可以用于将光刻胶喷头处的光刻胶进行清除处理，且该种装置用于替代回吸的方式，从而使得光刻胶在下一次使用时的使用量可以得到控制。